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三軸低真空組合臺： VA22EZH03200
※ 平移臺采用進(jìn)口精密滾珠螺桿驅動(dòng)，重復定位精度和絕對定位精度好，軸向間隙小，壽命長(cháng)；v
※ 導軌采用高精度精密線(xiàn)性滑塊導軌，運動(dòng)舒適，承載大，適合單軸或多軸組合使用；
※ 精磨電移臺底板和合理的導軌固定方式大大的降低了電移臺的俯仰和偏擺，使運動(dòng)的直線(xiàn)度和平行度有較大提高；
※ 真空步進(jìn)電機和絲桿通過(guò)高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節連接，傳動(dòng)同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動(dòng)且噪音小。
所屬分類(lèi)：
詳細介紹
| 產(chǎn)品型號：VA22EZH03200 | ||
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結構 描述 |
真空度 | 10-3pa（低于此真空度皆可使用） |
| 負載臺面尺寸 | 120*120mm | |
| X軸行程 | 250mm | |
| Y、Z軸行程 | 150mm | |
| 傳動(dòng)方式 | TBI絲桿；絲桿導程：4mm | |
| 導軌 | 精密線(xiàn)性滑塊導軌 | |
| Z軸中心負載 | 20Kg | |
| 主要材質(zhì) | 高強度航空鋁材（7075） | |
| 電機類(lèi)型 | 42真空步進(jìn)電機 | |
| 電機線(xiàn) | 聚醚乙胺線(xiàn) | |
| 電源電壓 | 24V±10% | |
| 限位開(kāi)關(guān) | 光電開(kāi)關(guān) | |
| 表面處理 | 真空使用不氧化外觀(guān)；二次精磨或陽(yáng)極氧化黑 | |
|
精度 描述 |
速度 | ≤30mm/sec |
| XY軸重復定位精度 | ≤±5μm | |
| 表面跳動(dòng) | ≤15μm | |
關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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