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μSCAN系列產(chǎn)品|標準機型（支持輕定制）

所屬分類(lèi)：

亞微米定位平臺

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詳細介紹

μSCAN系列掃描系統為我司近期推出的高性能一體式系統，整機采用了高剛性的花崗巖作為底座，配合高性能直線(xiàn)電機及伺服平臺，主要用于高精度掃描、加工、檢測等應用。標準行程參數選擇支持快速出貨，大大減少了客戶(hù)自己組合搭配不熟悉導致的組合缺陷及調試不熟悉導致的性能短板。

μSCAN系列主要特征

• XY軸為U1系列高性能直線(xiàn)電機平臺組成（迷宮式密封防護效果好沒(méi)有易損件和粉塵）
• R軸為高精度扁平化DD馬達 Z軸標配U3系列高精度伺服電機平臺（可選配N(xiāo)FZ240高性能直線(xiàn)電機平臺）
• 底座為濟南青或印度黑等高性能石材，精度可選0級或00級
• 可根據應用要求選配機架及隔振系統
• XY運動(dòng)系統經(jīng)過(guò)優(yōu)化，支持快速啟停、連續整定應用（10kg負載2mm行程運動(dòng)加整定＜30ms（運動(dòng)時(shí)間20ms，整定時(shí)間5-8ms））*1

規格\軸（從下往上）	Y軸	X軸	R軸	Z軸
標準軸型號	U1LM320-XX	U1LM240-XX	DDR224	U3SVM210-XX
行程	100/200/300/400	100/200/300/400	360°	50/100/200/300
光柵分辨率	100nm	100nm	1sec	-
重復定位精度	≤1um（±0.5）	≤1um（±0.5）	≤±1sec	≤3um（±1.5）
最大速度*2	1000mm/s	1000mm/s	4rps	200mm/s
最大負載	50kg			30kg
電機推力	220N/440N（峰值）	330N/660N（峰值）	20Nm	-
運動(dòng)平面度	≤±5um	≤±5um	≤5um	≤±5um