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LMS250GT-X 系列（超高精度直線(xiàn)電機平臺）
一維直線(xiàn)電機運動(dòng)平臺
所屬分類(lèi)：
詳細介紹
|
參數 | 型號 |
LMS250GT-500X |
-1000X |
-1500X |
-2000X |
|
有效行程 [mm] |
500 |
1000 |
1500 |
2000 |
|
光柵分辨率 [nm] |
默認 0.1um （最高1nm可選） |
|||
|
重復定位精度 [um] |
±0.3 |
|||
|
定位精度 [um] |
2um/100mm （校準后可小于0.5um/100mm） |
|||
|
平面度 [um] |
±2.5 |
±5 |
±7.5 |
±10 |
|
直線(xiàn)度[um] |
±2 |
±5 |
±7.5 |
±10 |
|
最大速度 [m/s] |
2 |
|||
|
最大加速度 [G] |
4 |
|||
|
最大負載 [kg] |
300 |
|||
|
L [mm] |
920 |
1420 |
1920 |
2420 |
關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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